主要用途：
本设备主要用于蓝宝石衬底、蓝宝石外延片、硅片、陶瓷片、石英晶体、碳化硅、锗片等半导体材料的精密抛光
设备原理及特点：
1、本设备为单面精密抛光设备，采用先进的机械结构和多种先进控制方法，抛光加工效率高，运行稳定。
2、整机采用PLC+触摸屏控制系统，设备参数设置和操作简单方便，系统运行稳定性高。
3、主电机采用变频调速控制，实现主机软启动、软停机，降低设备运行冲击，减少工件损伤。
4、工件研磨压力采用整体气缸加压方式，通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制，保证极高的施压精度与稳定性。
5、上压盘采用伺服马达主动驱动方式，在确保产品抛光速率的前提下保证各工位抛光加工的统一性。
6、抛光盘与上压盘都设置了冷却水冷却功能,在保证抛光液发挥最大效率的同时减少抛光盘面的变形。
+8613622378685
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微信扫一扫主要技术参数：
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型号 |
FD-7104PA |
FD-8104PA |
FD-9104PA |
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抛光盘规格 |
700mm |
810mm |
910mm |
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工件盘直径 |
260mm |
305mm |
360mm |
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工件盘压力 |
30~150kg |
30~150kg |
30~150kg |
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加压方式 |
气缸加压 |
气缸加压 |
气缸加压 |
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工作气压 |
0.4-0.6MPa |
0.4-0.6MPa |
0.4-0.6MPa |
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工件盘转速 |
5.60rpm(max) |
5.60rpm(max) |
5.60rpm(max) |
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抛光盘转速 |
0-80rpm |
100rpm(max) |
0-80rpm |
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主电机功率 |
4KW/380V |
7.5KW/380V |
7.5KW/380V |
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压盘电机功率 |
0.4KW/380Vx4 |
0.4KW/380Vx4 |
0.4KW/380Vx4 |
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设备工位数 |
4个 |
4个 |
4个 |
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设备外形尺寸 |
1200x1700x2300mm |
≈1150x1050x2200mm |
≈1250x1150x2200mm |
|
设备重量 |
2100KG |
2300KG |
2350KG |
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